• ASML 交付第一台 YieldStar 385 系统,可用于 3nm 制程芯片检测

    2021-01-21 14:23:03 942fx财经网 [db:作者] 收藏

▲目前的YieldStar380G系统YieldStar385并不是光刻机,而是用于制造好晶圆检测的装置,可用于各种工艺下的测量,定位有损坏的部分。目前的YieldStar380G系统,采用425nm至885nm波长的光源进行检测,中心精度可达1nm,并且支持聚焦于不同的深度,检查芯片不同层的良率。ASML没有透露这款产品的销售对象,但亚汇网此前曾报道,台积电表示将于今年开始3nm芯片的研发制造,预计于2022年实现量产。

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