荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML)全球副总裁、中国区总裁沈波表示,该公司对向中国出口集成电路光刻机持开放态度,对全球客户均一视同仁,在法律法规框架下,都将全力支持。
据新华社的报道,作为全球芯片光刻技术的佼佼者,荷兰光刻机生产企业阿斯麦(ASML)以“光刻未来,携手同行”为主题,亮相第三届进博会高端装备展区,呈现整体光刻解决方案。沈波说,2020年第二、第三季度,公司发往中国大陆地区的光刻机台数超过了全球总台数的20%。
光刻机是芯片制造中最重要的设备之一。10月14日,阿斯麦(ASML)发布了2020年第三季度财报,第三季度销售额为40亿欧元,净利润11亿欧元,毛利率达47.5%,第三季度的新增订单金额为29亿欧元。同时,阿斯麦(ASML)将在本周恢复执行股票回购。阿斯麦(ASML)总裁兼首席执行官Peter Wennink表示:“第三季度的销售额达到40亿欧元超出预期,我们一共交付了10台EUV系统,并在本季度实现了14台系统的销售收入。”
Peter Wennink在季度财报说明会还透露,从荷兰向中国出口DUV光刻机无需许可证。“根据当前法规,阿斯麦(ASML)无需获得美国出口许可证便可以继续从荷兰向中国客户出货DUV光刻系统;对于直接从美国发货系统或零件到受法规影响的客户,ASML需获得许可证。”他表示。
EUV光刻机和DUV光刻机有什么不同?
根据曝光源的不同,光刻机分为EUV型(极深紫外线)、DUV型(深紫外线)。从制程范围来看,DUV基本上只能做到25nm,而EUV能满足10nm以下的晶圆制造需求。
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